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    光刻膠(photo resist)

    發布時間:2012-9-12 10:54:52   編輯:wangsq  來源:中華液晶網
    提要: 光刻膠(photo resist)

    中文:光刻膠

    英文:photo resist

    日文:

    光刻膠又稱光致抗蝕膠,它是由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體。用它涂敷在基板上,在化學刻蝕之前曝光并顯影,從而顯示出所需的圖形。光刻膠作為圖形形成用輔助材料,在刻蝕完成后經去膜工序將其從基板上清除。


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